煙臺(tái)新風(fēng)系統(tǒng)凈化工程的溫濕度控制，主要的兩塊是新風(fēng)空調(diào)箱和干盤管。
新風(fēng)空調(diào)箱除了要保證外界大氣經(jīng)過(guò)其中的初、中和高效過(guò)濾網(wǎng)，把空氣中的粉塵顆粒過(guò)濾掉外，還要根據(jù)潔凈室里面的溫濕度情況調(diào)整出風(fēng)口的溫濕度，以保證送入的新風(fēng)在規(guī)定的溫濕度范圍內(nèi)。而干盤管是根據(jù)潔凈室里面安裝的溫濕度傳感器測(cè)量的值來(lái)調(diào)整干盤管冷水閥的開度，進(jìn)而調(diào)節(jié)回風(fēng)和送風(fēng)混合后的溫濕度，以保證滿足半導(dǎo)體工藝的溫濕度需求。
由于每種工藝制程設(shè)備的發(fā)熱量大不相同，導(dǎo)致凈化工程內(nèi)的機(jī)臺(tái)發(fā)熱量分布不均勻。例如爐管機(jī)臺(tái)的發(fā)熱量相較于其他設(shè)備大得多（基本在3－5倍之間），因此必須在潔凈室內(nèi)用干盤管DCC帶走這些熱量。通常要求同一制程的氣流經(jīng)過(guò)同一組DCC，在建筑已經(jīng)確定的情況下，制程的分布要與回風(fēng)道垂直。如果條件允許，要好是將不同制程的區(qū)域隔開，這樣既可避免金屬粒子污染，又能提高凈化工程溫濕度控制的穩(wěn)定性。
